فیلتر

دسته

1. کنترل کننده جریان MFC (5)

برند محصول

1. Bronkhorst هلند (2)
2. Brooks هلند (2)
3. HORIBA ژاپن (1)

محدوده اندازه گیری

1. 100 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
2. 1000 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
3. 1670 SLM(لیتر بر دقیقه) (1)
4. 2000 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
5. 20000 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
6. 400 SLPM (لیتر بر دقیقه) (1)

دقت اندازه گیری

1. 0.1% of reading (خواندن) (1)
2. 1% Full Scale (بازه کامل) (3)
3. 3% Full Scale (بازه کامل) (1)

زمان پاسخگویی

1. 0.75 ثانیه (2)
2. 1 ثانیه (3)

مقاوم در برابر خوردگی

1. خیر (5)

سیال کاری

1. تمام گازهای غیر خورنده (2)

تغذیه

1. (24)0-15 ولت (2)
2. 0-24 ولت (1)
3. 0-28 ولت (1)
4. ±15 ولت (1)

وضعیت کارکرد:

1. نو (5)