- توصیف
-
جزییات
MFC (کنترل کننده دبی جرمی) سری 4800 Brooks
MFC (کنترل کننده دبی جرمی) سری 4800 با پوشش دهی رنج وسیعی از دبی (flow) دارای ابعاد کاملا فشرده و بهینه شده می باشد. انواع خروجی های آنالوگ و دیجیتال و بهره گیری از سنسورهای MEMs که سرعت پاسخ زمانی بالایی دارد نیز از دیگر مشخصات (MFC (mass flow controller های سری 4800 می باشد. علاوه بر موارد ذکر شده قابلیت استفاده و سفارش برای گازهای رایج همچون N2 , O2 , Ar , He , H2 , CO2 , CO , N2O , CH4 , C3H6 , C3H8 در کنار امکانات متنوع دیگر باعث گردیده است که (MFC (mass flow controller سری 4800 مدلی کارآمد برای استفاده در حوزه های مختلف گردد.
استفاده از سنسورهای MEMs در (MFC (mass flow controller سری 4800 باعث دستیابی این سری به سرعت های بسیار بالا و کمتر از 0.3 ثانیه برای سنسور گردیده است که بسیار حائز اهمیت می باشد. البته باید توجه داشته باشید که سرعت پاسخ مجموعه شیر به همراه سنسور Settling time برای این خانواده از (MFC (mass flow controller های Brooks در حدود 0.75 ثانیه می باشد. که این پاسخ زمانی در (MFC (mass flow controller های سری 4850 تا حد زیادی بهبود پیدا کرده است.
از دیگر خصوصیات (MFC (mass flow controller های سری 4800 امکان نصب و استفاده از نمایشگر سرخود بر روی آن برای استفاده راحت تر از این سری از MFC ها می باشد.
به علت بهره گیری از سنسورهای MEMs در (MFC (mass flow controller های سری 4800 این خانواده به یک راه حل بسیار مناسب برای کنترل گاز آرگون Ar در سیستم های پلاسما مبدل گردیده است. ساختار MFC سری 4800 Brooks به شرح ذیل می باشد:
- اطلاعات فنی
-
اطلاعات اضافی
برند محصول Brooks هلند تکنولوژی مورد استفاده کپیلاری تیوب حرارتی محدوده اندازه گیری 50sccm-40slm دقت اندازه گیری 3% بازه کامل و یا 1% بازه کامل در حالت انتخابی پاسخ زمانی 0.75 ثانیه فشار کاری 150 – 5 پی اس آی (Psi) دمای کاری 0-50 درجه سانتیگراد مقاوم در برابر خوردگی خیر سیال کاری تمام گازهای غیرخورنده درگاه خروجی DB15 سیگنال خروجی 0-5 ولت یا 4 -20 میلی آمپر تغذیه (24) 15 - 0 ولت دارای نمایشگر قابل اتصال به نمایشگر مخصوص - نظرات
-
به فروشگاه ابزار دقیق تکنیکا خوش آمدید.
