فیلتر

دسته

1. کنترل کننده جریان MFC (2)

محدوده اندازه گیری

1. 400 SLPM (لیتر بر دقیقه) (1)

دقت اندازه گیری

1. 1% Full Scale (بازه کامل) (1)
2. 3% Full Scale (بازه کامل) (1)

زمان پاسخگویی

1. 0.75 ثانیه (1)
2. 1 ثانیه (1)

مقاوم در برابر خوردگی

1. خیر (2)

تغذیه

1. (24)0-15 ولت (1)
2. 0-24 ولت (1)

وضعیت کارکرد:

1. نو (2)

درگاه خروجی

1. DB15 (2)