فشارسنج خلا - MKS  925 MICROPIRANI

فشار سنج خلا میکرو پیرانی 925 یک گیج رسانش گرمایی  بر مبنای حسگر های میکرو الکترو مکانیکی است. این ترنسدیوسر برای اندازه گیری فشار به کار می‌رود و با استفاده از خروجی آنالوگ و دیجیتال و داشتن نقاط تنظیم رله ها در کنترل فرآیند مورد استفاده قرار می‌گیرد.

 کاربرد فشار سنج خلا میکرو پیرانی MKS 925

فشار سنج میکرو پیرانی مدل 925 در کاربرد های مختلفی من جمله در ساخت ادوات نیمه هادی و صنایع پوشش دهی می‌تواند مورد استفاده قرار گیرد.

موارد کاربرد گیج وکیوم MKS 925

•  اندازه گیری عمومی خلاء
• اندازه گیری خلاء Roughing
• کنترل شتاب دهنده های جرمی
• فعال سازی گیج های خلاء بسیار بالا (UHV Gauge )
• کنترل فرآیند
• کوره خلأ
• کنترل فشار سیستم

ترنسدیوسر میکرو پیرانی 925 ، یک گیج هدایت گرمایی است که براساس تکنولوژی سنسور MSMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)) کار می کند . 925 برای اندازه گیری فشار خلا به کار می رود و ولتاژ خروجی آنالوگ ، (digital interface) و رله های setpoint را برای کنترل فرآیندها ارائه می دهد .

ترنسدیوسر 925، با استفاده از خاصیت رسانایی گرمایی، محدوده ی اندازه گیری فشار Torr 1*10^-5 تا یک اتمسفر را داراست. سنسور میکروپیرانی، شامل یک تراشه سیلیکونی به اضافه یک المان حرارتی می باشد که با هم دیگر، یک طرف فضای حفره ی سنسور را تشکیل می دهند. ضمنا یک پوشش دیگر در بالای تراشه، طرف دیگر حفره را تشکیل می دهند. به علت شکل هندسی خاص سنسور، فرآیند همرفت (convection) در اطراف سنسور امکان پذیر نیست به همین دلیل مکان نصب سنسور در عملکرد آن تاثیری ندارد. مولکول های گاز تنها از طریق فرآیند نفوذ خود را به سطح سنسور می رسانند تا از این طریق سنسور بتواند میزان گرمای مبادله شده با گاز را اندازه بگیرد.

مانند سایر سنسورهای رسانایی گرمایی ، مدل 925 نیز به نوع گاز حساس است. برای جبران این نقص، میکروپیرانی دارای روش های کالیبراسیون عمومی است که از طریق پورت دیجیتال قابل اجراست. همچنین 925 دارای پورت های ارتباطی دیجیتالی RS231 یا  RS485 می باشد که امکان تنظیم پارامتر های ترنسدیوسر را فراهم می کند . 925 دارای بیش از 3 رله ی مکانیکی می باشد که برای کنترل فرآیند نظیر پمپ می تواند مفید باشند. همچنین طراحی 925 به گونه ای است که اندازه ی آن به لحاظ کوچکی برای یک گیج خلا، بسیار مناسب می باشد. نمودار ولتاژ به فشار این دستگاه به صورت زیر است :

ویژگی ها و مزایای وکیوم گیج MKS :

• دارای رنج فشار اندازه گیریTorr  10^-5  تا 1 اتمسفر
• دارای سه رله یsetpoint  برای فرآیند کنترل
• دارای اندازه بسیار مناسب
• دارای دقت بالا برای فرآیندهای بهینه شده
• ارتباط آسان ازطریق خروجی آنالوگ و دیجیتال (RS232 or RS485)
• سنسور میکروپیرانی در مقابل ارتعاشات یا هجوم هوا مقاوم است
• قابلیت نصب در هر جهتی بدون ازدست دادن دقت
• داشتن صفحه نمایش اختیاری برای نمایش فشار محلی
• دارای خروجی آنالوگ و کانکتورهای اضافی برای اتصال به گیج فروشندگان و همچنین ارتقای آسان سیستم