vacuum gauge برای اندازه گیری رنج وسیعی از خلاء

ترکیبی از پیرانی و کاتد سرد

vacuum gauge 972b توسط برند MKS تولید شده است و ترکیبی از دو سنسور میکروپیرانی و کاتد سرد است. در بر گیری محدوده وسیعی از خلا ( از اتمسفر تا خلا بسیار بالا) موجب کارآمد بودن این وکیوم گیج برای تمام کاربرد های خلا شده است.

سری 972B ترنسدیوسری جهت اندازه گیری فشار از اتمسفر تا خلا (ATV- Atmosphere to Vacuum) می باشد ، این وکیوم گیج جهت کاربرد  عمومی در بازه گسترده ای از اتمسفر تا   مورد استفاده قرار می‌گیرد. این سری از دوسنسور میکرو پیرانی و کاتد سردکه در یک محفظه مجتمع شده اند تشکیل شده است.

این سری می‌تواند توسط ارتباطات دیجیتال ( مانند RS485,RS232) و یا از طریق واحد آنالوگ مستقل به کار رود، در این سری فرآیند های گاز زدایی(Degas) و انتخاب سنسور (پیرانی یا کاتد گرم) می‌تواند از طریق ارتباطات دیجیتال یا فشردن کلید تابلو کنترل و یا ارتباطات آنالوگ انجام شود.

کاربرد وکیوم گیج بازه گسترده 972B

سری 972B برای اندازه گیری فشار از اتمسفر تا خلا بسیار بالا(UHV- Ultra High Vacuum) ایده ال است،  این بازه از خلا معمولا در کاربردهایی مانند تولید ادوات نیمه هادی،میکروسکوپ های الکترونی، پوشش لایه نازک ، ابزار دقیق تحلیلی، فیزیک انرژی های بالا مورد استفاده قرار می‌گیرد. این حیطه های کاربد از خلاء نیازمند پایداری طولانی مدت و دقت اندازه گیری بالا هستند که سری 972B برای این کاربرد ها ایده ال است.

vacuum gauge سری  MKS972B دارای قابلیت اندازه گیری خلا از 10^-8تور تا اتمسفر را دارا می باشد . اساس کار این وکیوم گیج براساس اندازه گیری هدایت حرارتی یا همان پیرانی و جریان یونیزاسیون کاتد سرد می باشد.

این گیج جهت کاربردهای کلی و کنترل ساخته شده است و دارای دو نوع ساده و همچنین همراه با نمایشگر PDR900 و واحد کنترل می باشد . وکیوم گیج سری 972b دارای سه رله ی مکانیکی به منظور استفاده در واحدهای کنترل فرآیند، همچون پمپ می باشد. ولتاژ آنالوگ خروجی آن را می توان جهت پردازش به تجهیزات آنالوگ دیگری جهت خواندن فشار و کنترل آن وصل کرد.

تکنولوژی سنسور:

ترنسدیوسر 972B شامل دو سنسور می باشد.

 سنسور میکرو پیرانی آن از روش اندازه گیری هدایت حرارتی استفاده می کند. این سنسور شامل یک چیپ میکرونی به همراه یک المان حرارتی می باشد که یکطرف آن را تشکیل داده است. یک پوشش روی تراشه، طرف دیگرش احاطه کرده است. به علت هندسه خاص سنسور، فرآیند همرفت در اطراف سنسور صورت نمی گیرد بنابراین مولکول های گاز، تنها از طریق فرآیند نفوذ قادر به حضور دراطراف سنسور می باشند و از این طریق با المنت حرارتی ، تبادل حرارت می کنند.

سنسور دیگر کاتد مگنترون سرد معکوس شونده است که از یک ولتاژ کاتدی و آندی بالا و همچنین از یک اثر مغناطیسی دائمی بهره می برد. الکترون ها به سمت آندها شتاب داده می شوند و بدین ترتیب مولکول ها به وسیله ی برخوردها یونیزه می شوند.

این سنسورها در مقابل نیروهای بالای g و ورود سریع هوا مقاوم هستند.

کاربردهای vacuum gauge 972b :

972B دارای کاربردهای زیادی در صنایع خلا در قسمت هایی نظیر نیمه هادی سازی و روکش کاری می باشند. تعدادی از این کاربردها در ادامه آمده است:

• اندازه گیری های معمولی در خلا
• روکش کاری
• کنترل طیف سنج جرمی
• سیستم های کنترل فرآیند
• کنترل سیستم های فشار
• اندازه گیری فشارهای غیرعادی برای رله گذاری در فرایندهای گوناگون
• تجهیزات آنالیزی (mass spectrometer control)
• میکروسکوپ الکترونی
• سیستم های پوشش دهی (coating)
• سیستم های پایه اندازه گیری و کنترل خلا

از جمله مزایا و خصوصیات این مدل گیج می توان به موارد ذیل اشاره نمود:

1-    طراحی بسیار کوچک و بهینه شده نسبت به گیج های بازه گسترده (wide range) رایج در بازار که باعث صرفه جویی در محیط و فضا می گردد.

2-    امکان سرویس توسط کاربر و کاهش از کار افتادگی خط تولید

3-    دارای انواع درگاه های آنالوگ و دیجیتال

4-    قیمت اقتصادی و کاملا بصرفه

5-    امکان ارائه و تولید محصول با نمایشگر سرخود در صورت نیاز مشتری