Mass Flow controller های آنالوگ شرکت Sevenstar که با پیشوند D07 آغاز می گردند در انواع و مدل های A,B,C,F  ارائه می گردند. تمامی این Mass Flow controller ها دارای دقت و حوزه اندازه گیری مشخصی می باشند. در بهترین مدل های این گروه پاسخ زمانی به کمتر از 1.5 ثانیه و در بدترین مدل های این گروه به کمتر از 4 ثانیه می رسد. همچنین فشار کاری این گروه از Mass Flow controller بین 30 تا 100 بار می باشد. حداکثر فلوی قابل دسترسی در بین MFC های این گروه 250SLM برای دو گروه 23F,23A میباشد که این رقم برای دیگر گروه ها به در حدود 20-30SLM است.

زمینه های استفاده از Mass Flow controller سری آنالوگ Sevenstar

بطور کل تکنولوژی این نسل از MFC ها بسیار ساده با جدول مشخصه بسیار معمولی برای کاربردهای نرمال و ساده می باشد. که امکان از بین بردن نوسانات فشاری و دمایی در پشت کنترل کننده را دارا بوده و در نتیجه امکان استفاده از این محصول را در زمینه هایی به شرح ذیل فراهم می نماید:

1-    صنایع نیمه هادی و تولید IC

2-    صنایع متالوژی برای مواد خاص

3-    صنایع شیمیایی

4-    صنایع نفتی

5-    صنایع دارویی

6-    سیستم های وکیوم

رایج ترین حوزه استفاده از این MFC در تجهیزات کنترل فرآیندهای میکروالکترونیک به شرح ذیل می باشد:

1-     Diffusion

2-    Oxidation

3-    Epitaxy

4-    CVD

5-    Plasma Etching

6-    Sputtering

7-    ion implantation

8-    vacuum deposition equipment

9-    optical fiber melting

10-     micro-reaction equipment

11-     mixing & matching gas system

12-     capillary flow control system

13-     gas chromatograph

مزایا و معایب Mass Flow controller سری آنالوگ سون استار

از ضعف های این سری از برند SevenStar عدم پشتیبانی از گازهای خورنده میباشد که باعث کاهش حوزه استفاده از آن در صنایع مختلف می گردد. همچنین وزن MFC های این شرکت در قیاس با رقبای دیگر آن بسیار بیشتر میباشد که با توجه به نوع کاربرد می تواند یک مشخصه نامناسب به حساب بیاید.

اما در کنار تمامی ضعف های بیان شده برای این مدل قیمت پایین و نسبتا به صرفه این سری از Mass Flow controller آن را به یک گزینه مطرح برای کاربردهای کم هزینه و در عین حال با دقت مناسب تبدیل کرده است.

بررسی مدل 19F از سری آنالوگ Mass Flow controller  شرکت سون استار

این بخش به بررسی به مدل 19F می پردازد. بطور کل سری آنالوگ دارای مشخصه فنی متوسط برای کاربردهای عمومی می باشد.

مدل مذکور از شرکت Sevenstar در بازه حداکثر فلوی 30SLM و کمینه 5SCCM تولید و به بازار عرضه می گردد.  همچنین خطای این سری Mass Flow controller برای فلوهای پایین تر از 20SLM برابر با ±1%FS و برای فلوهای بیشتر یا مساوی 20SLM برابر با ±2%FS خواهد بود.

درگاه خروجی این MFC DB15 می باشد که ساختاری به شرح ذیل را دارد

ساختار اصلی و نحوه عملکرد یک MFC همانند شکل ذیل می باشد:

ساختار درونی این تجهیز همانند بسیاری از MFC های آنالوگ دیگر ساختاری همانند شکل ذیل را دارد

در پایان قابل ذکر است که شرایط کالیبراسیون این Mass Flow controller شرایط نرمال می باشد که عبارتند از:

1-    0 ºC

2-    و شرایط فشاری محیطی 760mm Hg

3-    کالیبراسیون با گاز N2