فیلتر

دسته

1. کنترل کننده جریان MFC (2)

برند محصول

1. HORIBA ژاپن (1)
2. MYKROLIS آمریکا (1)

محدوده اندازه گیری

1. 400 SLPM (لیتر بر دقیقه) (1)
2. 500 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)

دقت اندازه گیری

1. 1% Full Scale (بازه کامل) (2)

زمان پاسخگویی

1. 1 ثانیه (2)

مقاوم در برابر خوردگی

1. خیر (2)

تغذیه

1. ±15 ولت (2)