فیلتر

دسته

1. کنترل کننده جریان MFC (6)
2. فلومتر کوریولیس (4)
3. فلومتر روتاری (1)
4. فلومتر ورتکس (5)
5. فلومتر الکترو مغناطیسی (10)
6. اختلاف فشاری (4)
7. روتامتر (6)
8. فلومتر حرارتی (1)

برند محصول

1. BadgerMeter آلمان (5)
2. Bronkhorst هلند (2)
3. CELERITY آمریکا (2)
4. Endress+Hauser سوئیس (7)
5. HORIBA ژاپن (1)
6. KOBOLD آلمان (8)
7. KROHNE آلمان (2)
8. MaxiFlo کره جنوبی (1)
9. MYKROLIS آمریکا (1)
10. ROSEMOUNT آمریکا (3)
11. Sealand چین (1)
12. Yokogawa ژاپن (3)

پارامتر فیزیکی اندازه گیری شونده

1. جرم (5)
2. حجم (9)

ماکزیمم فشار کاری

1. 150CL (2)
2. 40 بار (1)
3. 40Pn (2)
4. 600 بار (1)
5. 600CL (1)

حداقل دمای کارکرد

1. 20- درجه سانتیگراد (2)
2. 200- درجه سانتیگراد (1)
3. 29- درجه سانتیگراد (1)
4. 40- درجه سانتیگراد (3)
5. 50- درجه سانتیگراد (5)

حداکثر دمای کارکرد

1. 150 درجه سانتیگراد (1)
2. 260 درجه سانتیگراد (1)
3. 350 درجه سانتیگراد (1)
4. 400 درجه سانتیگراد (2)
5. 60 درجه سانتیگراد (1)
6. 200 درجه سانتیگراد (4)
7. 232 درجه سانتیگراد (1)

دقت اندازه گیری

1. 0.1% of reading (خواندن) (3)
2. 0.15% of reading (خواندن) (1)
3. 0.5% Full Scale (بازه کامل) (1)
4. 0.5% of reading (خواندن) (1)
5. 1 درصد (1)
6. 2 درصد (1)

محدوده اندازه گیری

1. 0.1 گرم بر دقیقه (1)
2. 20 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
3. 50 m3/hr (مترمکعب بر ساعت) (1)
4. 500 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (2)

دقت اندازه گیری

1. 0.5% Full Scale (بازه کامل) (1)
2. 1% Full Scale (بازه کامل) (4)

زمان پاسخگویی

1. 1 ثانیه (3)
2. 2 ثانیه (1)
3. 3 ثانیه (1)
4. کمتر از 1 ثانیه (1)

سیال کاری

1. C2F6 (1)
2. CL2 (2)
3. TiCL4 (1)

تغذیه

1. (24)0-15 ولت (1)
2. 0-24 ولت (1)
3. ±15 ولت (4)

وضعیت کارکرد:

1. در حد نو (استوک) (9)
2. نو (1)

دهانه فلنج

1. 25 میلی متر (3)
2. 50 میلی متر (2)

دارای نمایشگر

1. دارای نمایشگر سرخود (8)

پروتکل ارتباطی

1. هارت (5)

درگاه خروجی

1. DB9 (1)