فیلتر

دسته

1. کنترل کننده جریان MFC (2)

برند محصول

1. CELERITY آمریکا (1)
2. MYKROLIS آمریکا (1)

دقت اندازه گیری

1. 1% Full Scale (بازه کامل) (2)

زمان پاسخگویی

1. 1 ثانیه (2)

سیال کاری

1. C2F6 (1)
2. CL2 (1)

تغذیه

1. ±15 ولت (2)