فیلتر

دسته

1. کنترل کننده جریان MFC (4)

محدوده اندازه گیری

1. 1670 SLM(لیتر بر دقیقه) (1)
2. 50 m3/hr (مترمکعب بر ساعت) (1)

دقت اندازه گیری

1. 0.1% of reading (خواندن) (1)
2. 0.5% Full Scale (بازه کامل) (1)
3. 1% Full Scale (بازه کامل) (1)

زمان پاسخگویی

1. 0.75 ثانیه (1)
2. 1 ثانیه (2)
3. 2 ثانیه (1)

مقاوم در برابر خوردگی

1. بله (2)
2. خیر (2)

سیال کاری

1. تمام گازهای غیر خورنده (2)

تغذیه

1. (24)0-15 ولت (2)
2. 0-24 ولت (1)
3. 0-28 ولت (1)

وضعیت کارکرد:

1. نو (3)

درگاه خروجی

1. DB15 (2)