فیلتر

دسته

1. کنترل کننده جریان MFC (2)

محدوده اندازه گیری

1. 20 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
2. 500 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)

دقت اندازه گیری

1. 1% Full Scale (بازه کامل) (2)

زمان پاسخگویی

1. 1 ثانیه (1)
2. کمتر از 1 ثانیه (1)

مقاوم در برابر خوردگی

1. بله (2)

سیال کاری

1. CL2 (2)

تغذیه

1. ±15 ولت (2)