فیلتر

دسته

1. کنترل کننده جریان MFC (2)

محدوده اندازه گیری

1. 400 SLPM (لیتر بر دقیقه) (1)
2. 500 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)

دقت اندازه گیری

1. 1% Full Scale (بازه کامل) (2)

زمان پاسخگویی

1. 1 ثانیه (2)

مقاوم در برابر خوردگی

1. بله (1)
2. خیر (1)

سیال کاری

1. C2F6 (1)
2. H2 (1)

تغذیه

1. ±15 ولت (2)