فیلتر

برند محصول

1. Bronkhorst هلند (2)
2. CELERITY آمریکا (2)
3. HORIBA ژاپن (1)
4. MYKROLIS آمریکا (1)

محدوده اندازه گیری

1. 0.1 گرم بر دقیقه (1)
2. 20 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
3. 50 m3/hr (مترمکعب بر ساعت) (1)
4. 500 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (2)

دقت اندازه گیری

1. 0.5% Full Scale (بازه کامل) (1)
2. 1% Full Scale (بازه کامل) (4)

زمان پاسخگویی

1. 1 ثانیه (3)
2. 2 ثانیه (1)
3. 3 ثانیه (1)
4. کمتر از 1 ثانیه (1)

سیال کاری

1. C2F6 (1)
2. CL2 (2)
3. TiCL4 (1)

تغذیه

1. (24)0-15 ولت (1)
2. 0-24 ولت (1)
3. ±15 ولت (4)

وضعیت کارکرد:

1. در حد نو (استوک) (1)
2. نو (1)

درگاه خروجی

1. DB9 (1)