فیلتر

دسته

1. فلو (13)
2. خلأ (12)

برند محصول

1. Becker آلمان (2)
2. Bronkhorst هلند (3)
3. Brooks هلند (2)
4. CELERITY آمریکا (1)
5. CPS آمریکا (1)
6. EDWARDS انگلستان (4)
7. Hokaido چین (1)
8. HORIBA ژاپن (3)
9. JB آمریکا (2)
10. KOBOLD آلمان (3)
11. KROHNE آلمان (1)
12. MYKROLIS آمریکا (1)
13. Pfeiffer Vacuum آلمان (1)
14. WOOSUNG کره جنوبی (1)

پارامتر فیزیکی اندازه گیری شونده

1. حجم (2)

ماکزیمم فشار کاری

1. 600 بار (1)

حداقل دمای کارکرد

1. 40- درجه سانتیگراد (1)
2. 5 درجه سانتیگراد (1)

حداکثر دمای کارکرد

1. 350 درجه سانتیگراد (1)
2. 40 درجه سانتیگراد (1)

نوع پمپ

1. دیافراگمی (3)
2. روتاری (8)
3. ساید چنل یک مرحله ای و دو مرحله ای (1)

دقت اندازه گیری

1. 2 درصد (1)

محدوده اندازه گیری

1. 0.1 گرم بر دقیقه (1)
2. 100 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
3. 1000 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
4. 1670 SLM(لیتر بر دقیقه) (1)
5. 20 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
6. 2000 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
7. 20000 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
8. 400 SLPM (لیتر بر دقیقه) (1)
9. 50 m3/hr (مترمکعب بر ساعت) (1)
10. 500 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (2)

دقت اندازه گیری

1. 0.1% of reading (خواندن) (1)
2. 0.5% Full Scale (بازه کامل) (1)
3. 1% Full Scale (بازه کامل) (6)
4. 3% Full Scale (بازه کامل) (1)

زمان پاسخگویی

1. 0.75 ثانیه (1)
2. 1 ثانیه (6)
3. 2 ثانیه (1)
4. 3 ثانیه (1)
5. کمتر از 1 ثانیه (1)

مقاوم در برابر خوردگی

1. بله (8)
2. خیر (5)
3. وابسته به مدل و نوع (1)

سیال کاری

1. C2F6 (1)
2. CL2 (1)
3. H2 (1)
4. TiCL4 (1)
5. تمام گازهای غیر خورنده (1)

تغذیه

1. (24)0-15 ولت (3)
2. 0-24 ولت (2)
3. 110V-120V / 220V 50 / 60 Hz (1)
4. 220 ولت/380 ولت (2)
5. ±15 ولت (5)
6. تک فاز 220 ولت (2)

فشار پایه

1. اتمسفر (12)

نوع راه اندازی

1. ----- (1)
2. single act (1)

وضعیت کارکرد:

1. در حد نو (استوک) (2)
2. نو (5)

دارای نمایشگر

1. دارای نمایشگر سرخود (1)

فشار کاری

1. 6-^10 پاسگال (1)
2. 7-^10 میلی بار (1)