فیلتر

دسته

1. فلو (1)

برند محصول

1. MYKROLIS آمریکا (1)

محدوده اندازه گیری

1. 500 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)

دقت اندازه گیری

1. 1% Full Scale (بازه کامل) (1)

زمان پاسخگویی

1. 1 ثانیه (1)

مقاوم در برابر خوردگی

1. بله (1)

سیال کاری

1. C2F6 (1)

تغذیه

1. ±15 ولت (1)