فیلتر

دسته

1. فلو (3)

برند محصول

1. CELERITY آمریکا (1)
2. HORIBA ژاپن (1)
3. MYKROLIS آمریکا (1)

محدوده اندازه گیری

1. 100 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
2. 1000 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
3. 20 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
4. 2000 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
5. 20000 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
6. 400 SLPM (لیتر بر دقیقه) (1)

دقت اندازه گیری

1. 1% Full Scale (بازه کامل) (3)

زمان پاسخگویی

1. 1 ثانیه (2)
2. کمتر از 1 ثانیه (1)

مقاوم در برابر خوردگی

1. بله (1)
2. خیر (2)

سیال کاری

1. CL2 (1)
2. H2 (1)

وضعیت کارکرد:

1. نو (1)