فیلتر

دسته

1. فلو (3)

برند محصول

1. HORIBA ژاپن (2)
2. MYKROLIS آمریکا (1)

محدوده اندازه گیری

1. 100 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
2. 1000 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
3. 2000 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
4. 20000 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
5. 400 SLPM (لیتر بر دقیقه) (1)
6. 500 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)

دقت اندازه گیری

1. 1% Full Scale (بازه کامل) (3)

زمان پاسخگویی

1. 1 ثانیه (3)

مقاوم در برابر خوردگی

1. خیر (3)

سیال کاری

1. H2 (2)

وضعیت کارکرد:

1. نو (1)