فیلتر

دسته

1. فلو (2)

برند محصول

1. HORIBA ژاپن (1)
2. MYKROLIS آمریکا (1)

محدوده اندازه گیری

1. 100 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
2. 1000 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
3. 2000 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
4. 20000 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
5. 400 SLPM (لیتر بر دقیقه) (1)

دقت اندازه گیری

1. 1% Full Scale (بازه کامل) (2)

مقاوم در برابر خوردگی

1. خیر (2)

سیال کاری

1. H2 (1)

تغذیه

1. ±15 ولت (2)

وضعیت کارکرد:

1. نو (1)