فیلتر

دسته

1. فلو (3)

برند محصول

1. CELERITY آمریکا (2)
2. HORIBA ژاپن (1)

محدوده اندازه گیری

1. 0.1 گرم بر دقیقه (1)
2. 20 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
3. 500 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)

دقت اندازه گیری

1. 1% Full Scale (بازه کامل) (3)

زمان پاسخگویی

1. 1 ثانیه (1)
2. 3 ثانیه (1)
3. کمتر از 1 ثانیه (1)

سیال کاری

1. CL2 (2)
2. TiCL4 (1)

تغذیه

1. ±15 ولت (3)

وضعیت کارکرد:

1. در حد نو (استوک) (1)