فیلتر

دسته

1. فلو (8)

برند محصول

1. Bronkhorst هلند (2)
2. CELERITY آمریکا (1)
3. HORIBA ژاپن (1)
4. KOBOLD آلمان (2)
5. KROHNE آلمان (1)
6. MYKROLIS آمریکا (1)

پارامتر فیزیکی اندازه گیری شونده

1. حجم (2)

ماکزیمم فشار کاری

1. 600 بار (1)

حداقل دمای کارکرد

1. 40- درجه سانتیگراد (1)

حداکثر دمای کارکرد

1. 350 درجه سانتیگراد (1)

دقت اندازه گیری

1. 2 درصد (1)

محدوده اندازه گیری

1. 0.1 گرم بر دقیقه (1)
2. 20 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
3. 50 m3/hr (مترمکعب بر ساعت) (1)
4. 500 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)

دقت اندازه گیری

1. 0.5% Full Scale (بازه کامل) (1)
2. 1% Full Scale (بازه کامل) (3)

زمان پاسخگویی

1. 1 ثانیه (2)
2. 2 ثانیه (1)
3. 3 ثانیه (1)
4. کمتر از 1 ثانیه (1)

سیال کاری

1. C2F6 (1)
2. CL2 (1)
3. TiCL4 (1)

تغذیه

1. (24)0-15 ولت (1)
2. 0-24 ولت (1)
3. ±15 ولت (3)

وضعیت کارکرد:

1. در حد نو (استوک) (2)
2. نو (1)

دارای نمایشگر

1. دارای نمایشگر سرخود (1)