فیلتر

دسته

1. فلو (3)

برند محصول

1. Brooks هلند (1)
2. CELERITY آمریکا (1)
3. HORIBA ژاپن (1)

محدوده اندازه گیری

1. 20 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
2. 500 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)

زمان پاسخگویی

1. 1 ثانیه (2)
2. کمتر از 1 ثانیه (1)

مقاوم در برابر خوردگی

1. بله (1)
2. خیر (2)

سیال کاری

1. CL2 (1)
2. H2 (1)

تغذیه

1. 0-24 ولت (1)
2. ±15 ولت (2)

وضعیت کارکرد:

1. نو (1)