فیلتر

دسته

1. فلو (4)

برند محصول

1. Bronkhorst هلند (1)
2. Brooks هلند (1)
3. CELERITY آمریکا (2)

محدوده اندازه گیری

1. 20 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
2. 500 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)

زمان پاسخگویی

1. 0.75 ثانیه (1)
2. 1 ثانیه (2)
3. کمتر از 1 ثانیه (1)

مقاوم در برابر خوردگی

1. بله (2)
2. خیر (2)

سیال کاری

1. CL2 (2)
2. تمام گازهای غیر خورنده (1)

تغذیه

1. 0-24 ولت (1)
2. 0-28 ولت (1)
3. ±15 ولت (2)

وضعیت کارکرد:

1. نو (2)