فیلتر

دسته

1. فلو (1)

محدوده اندازه گیری

1. 400 SLPM (لیتر بر دقیقه) (1)

دقت اندازه گیری

1. 1% Full Scale (بازه کامل) (1)

زمان پاسخگویی

1. 1 ثانیه (1)

مقاوم در برابر خوردگی

1. خیر (1)

سیال کاری

1. H2 (1)

تغذیه

1. ±15 ولت (1)