فیلتر

دسته

1. فلو (4)

محدوده اندازه گیری

1. 0.1 گرم بر دقیقه (1)
2. 1 SLM(لیتر بر دقیقه) (1)
3. 100 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
4. 1000 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
5. 2000 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
6. 20000 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
7. 500 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)

دقت اندازه گیری

1. 1% Full Scale (بازه کامل) (4)

زمان پاسخگویی

1. 1 ثانیه (3)
2. 3 ثانیه (1)

مقاوم در برابر خوردگی

1. بله (1)
2. خیر (3)

سیال کاری

1. H2 (1)
2. TiCL4 (1)

وضعیت کارکرد:

1. در حد نو (استوک) (2)
2. نو (1)