فیلتر

دسته

1. فلو (8)

برند محصول

1. CELERITY آمریکا (2)
2. HORIBA ژاپن (4)
3. MYKROLIS آمریکا (2)

محدوده اندازه گیری

1. 0.1 گرم بر دقیقه (1)
2. 1 SLM(لیتر بر دقیقه) (1)
3. 100 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
4. 1000 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
5. 20 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
6. 2000 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
7. 20000 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (1)
8. 400 SLPM (لیتر بر دقیقه) (1)
9. 500 SCCM (سانتیمترمکعب بردقیقه) (3)

دقت اندازه گیری

1. 1% Full Scale (بازه کامل) (8)

زمان پاسخگویی

1. 1 ثانیه (6)
2. 3 ثانیه (1)
3. کمتر از 1 ثانیه (1)

مقاوم در برابر خوردگی

1. بله (4)
2. خیر (4)

سیال کاری

1. C2F6 (1)
2. CL2 (2)
3. H2 (2)
4. TiCL4 (1)

وضعیت کارکرد:

1. در حد نو (استوک) (2)
2. نو (1)